أهمية أنابيب الغاز عالية النقاء لأشباه الموصلات

As أشباه الموصلاتوتطور التقنيات الإلكترونية الدقيقة نحو أداء أعلى وتكامل أعلى، ويتم وضع متطلبات أعلى على نقاء الغازات الإلكترونية الخاصة. تعد تكنولوجيا أنابيب الغاز عالية النقاء جزءًا مهمًا من نظام إمداد الغاز عالي النقاء. إنها التكنولوجيا الرئيسية لتوصيل الغازات عالية النقاء التي تلبي متطلبات نقاط استخدام الغاز مع الحفاظ على الجودة المؤهلة.

تتضمن تكنولوجيا الأنابيب عالية النقاء التصميم الصحيح للنظام، واختيار تجهيزات الأنابيب والمواد المساعدة، والبناء والتركيب والاختبار.

01المفهوم العام لأنابيب نقل الغاز

يجب نقل جميع الغازات عالية النقاء وعالية النظافة إلى نقطة الغاز الطرفية عبر خطوط الأنابيب. من أجل تلبية متطلبات جودة عملية الغاز، عندما يكون مؤشر تصدير الغاز مؤكدًا، فمن الضروري الاهتمام باختيار المواد وجودة بناء نظام الأنابيب. بالإضافة إلى دقة معدات إنتاج الغاز أو تنقيته، فإنها تتأثر إلى حد كبير بالعديد من عوامل نظام خطوط الأنابيب. ولذلك، فإن اختيار الأنابيب يحتاج إلى الالتزام بمبادئ صناعة التنقية ذات الصلة ووضع علامة على مادة الأنابيب في الرسومات.

02أهمية خطوط الأنابيب عالية النقاء في نقل الغاز

أهمية خطوط الأنابيب عالية النقاء في نقل الغاز عالي النقاء أثناء عملية صهر الفولاذ المقاوم للصدأ، يمكن لكل طن أن يمتص حوالي 200 جرام من الغاز. بعد معالجة الفولاذ المقاوم للصدأ، لا تلتصق الملوثات المختلفة على سطحه فحسب، بل يتم أيضًا امتصاص كمية معينة من الغاز في شبكته المعدنية. عندما يمر تدفق الهواء عبر خط الأنابيب، فإن جزء الغاز الذي يمتصه المعدن سوف يدخل مرة أخرى إلى تدفق الهواء ويلوث الغاز النقي.

عندما يكون تدفق الهواء في الأنبوب متقطعًا، يشكل الأنبوب امتصاصًا للضغط على الغاز الذي يمر عبره. عندما يتوقف تدفق الهواء عن المرور، يشكل الغاز الممتص بواسطة الأنبوب تحليلًا لتقليل الضغط، ويدخل الغاز الذي تم تحليله أيضًا إلى الغاز النقي في الأنبوب كشوائب.

وفي الوقت نفسه، فإن دورة الامتزاز والتحليل ستؤدي إلى إنتاج المعدن الموجود على السطح الداخلي للأنبوب كمية معينة من المسحوق. يقوم جسيم الغبار المعدني أيضًا بتلويث الغاز النقي الموجود في الأنبوب. هذه الخاصية للأنبوب مهمة جدًا. من أجل ضمان نقاء الغاز المنقول، ليس من الضروري فقط أن يتمتع السطح الداخلي للأنبوب بنعومة عالية للغاية، ولكن أيضًا يجب أن يتمتع بمقاومة عالية للتآكل.

عندما يكون للغاز خصائص تآكل قوية، يجب استخدام أنابيب الفولاذ المقاوم للصدأ المقاومة للتآكل في الأنابيب. وإلا، ستظهر بقع التآكل على السطح الداخلي للأنبوب بسبب التآكل. في الحالات الشديدة، سوف تتقشر قطع كبيرة من المعدن أو حتى تنثقب، مما يؤدي إلى تلويث الغاز النقي الذي يتم نقله.

03مادة الأنابيب

يجب تحديد اختيار المواد للأنبوب وفقًا لاحتياجات الاستخدام. يتم قياس جودة الأنبوب بشكل عام وفقًا لخشونة السطح الداخلي للأنبوب. كلما انخفضت الخشونة، قلت احتمالية حمل الجزيئات. تنقسم بشكل عام إلى ثلاثة أنواع:

واحد هوأنبوب EP الصف 316L، والتي تم صقلها كهربائيا (البولندية الكهربائية). إنه مقاوم للتآكل وله خشونة سطحية منخفضة. يبلغ Rmax (الحد الأقصى لارتفاع الوادي) حوالي 0.3 ميكرومتر أو أقل. لديها أعلى مستوى من التسطيح وليس من السهل تشكيل تيارات دوامية صغيرة. إزالة الجزيئات الملوثة. وينبغي أن يتم نقل غاز التفاعل المستخدم في العملية عند هذا المستوى.

واحد هو أبكالوريوس الصف 316Lالأنبوب، الذي تمت معالجته بواسطة Bright Anneal وغالبًا ما يستخدم للغازات التي تكون على اتصال بالرقاقة ولكنها لا تشارك في تفاعل العملية، مثل GN2 وCDA. أحدهما هو أنبوب AP (التليين والالتقاط)، والذي لم تتم معالجته بشكل خاص ويستخدم بشكل عام للمجموعات المزدوجة من الأنابيب الخارجية التي لا تستخدم كخطوط إمداد بالغاز.

04 بناء خطوط الأنابيب

تعد معالجة فتحة الأنبوب إحدى النقاط الرئيسية في تكنولوجيا البناء هذه. يتم قطع خط الأنابيب والتصنيع المسبق في بيئة نظيفة، وفي الوقت نفسه، يتم التأكد من عدم وجود علامات ضارة أو تلف على سطح خط الأنابيب قبل القطع. يجب إجراء الاستعدادات لغسل النيتروجين في خط الأنابيب قبل فتح خط الأنابيب. من حيث المبدأ، يتم استخدام اللحام لتوصيل خطوط أنابيب نقل وتوزيع الغاز عالية النقاء والنظافة ذات التدفق الكبير، لكن اللحام المباشر غير مسموح به. يجب استخدام وصلات التغليف، ويشترط ألا يكون هناك أي تغيير في هيكل مادة الأنابيب المستخدمة أثناء اللحام. إذا تم لحام المادة التي تحتوي على نسبة عالية من الكربون، فإن نفاذية الهواء لجزء اللحام ستتسبب في اختراق الغاز داخل الأنبوب وخارجه لبعضهما البعض، مما يؤدي إلى تدمير نقاء وجفاف ونظافة الغاز الناقل، مما سيؤدي إلى عواقب وخيمة وتؤثر على جودة الإنتاج.

باختصار، بالنسبة للغاز عالي النقاء وخطوط أنابيب نقل الغاز الخاصة، يجب استخدام أنبوب من الفولاذ المقاوم للصدأ عالي النقاء معالج بشكل خاص، مما يجعل نظام خطوط الأنابيب عالي النقاء (بما في ذلك خطوط الأنابيب وتجهيزات الأنابيب والصمامات وVMB وVMP) يحتل مكانة بارزة. مهمة حيوية في توزيع الغاز عالي النقاء.