1. تعريف نظام الغاز السائب:
تخزين الغازات الخاملة والتحكم في ضغطها أنواع الغازات: الغازات الخاملة النموذجية (النيتروجين، الأرجون، الهواء المضغوط، إلخ)
حجم خط الأنابيب: من 1/4 (خط أنابيب المراقبة) إلى خط الأنابيب الرئيسي 12 بوصة
المنتجات الرئيسية للنظام هي: صمام الحجاب الحاجز / صمام المنفاخ / صمام الكرة، الموصل عالي النقاء (VCR، شكل اللحام)، موصل الطويق، صمام تنظيم الضغط، مقياس الضغط، إلخ.
حاليًا، يشتمل النظام الجديد أيضًا على نظام غاز خاص ضخم، يستخدم أسطوانات الغاز الثابتة أو شاحنات الصهاريج للتخزين والنقل.
2. تعريف نظام التنقية:
إزالة الشوائب من الغازات السائبة لخطوط أنابيب الغاز عالية النقاء
3. تعريف خزائن الغاز:
توفير التحكم في الضغط ومراقبة التدفق لمصادر الغاز الخاصة (الغازات السامة، القابلة للاشتعال، التفاعلية، المسببة للتآكل)، ولديها القدرة على استبدال أسطوانات الغاز.
الموقع: يقع في الطابق الفرعي أو الطابق السفلي لتخزين الغازات الخاصة المصدر: NF3، SF6، WF6، إلخ.
حجم خط الأنابيب: خط أنابيب الغاز الداخلي، بشكل عام 1/4 بوصة لخط أنابيب المعالجة، 1/4-3/8 بوصة بشكل أساسي لخط أنابيب تطهير النيتروجين عالي النقاء.
المنتجات الرئيسية: صمامات غشائية عالية النقاء، وصمامات فحص، ومقاييس ضغط، ومقاييس ضغط، وموصلات عالية النقاء (VCR، شكل لحام) تحتوي خزانات الغاز هذه بشكل أساسي على إمكانات التبديل التلقائي للأسطوانات لضمان إمداد الغاز المستمر والاستبدال الآمن للأسطوانات.
4. تعريف التوزيع:
توصيل مصدر الغاز بملف تجميع الغاز
حجم الخط: في مصنع الرقائق، يتراوح حجم خط أنابيب توزيع الغاز بشكل عام من 1/2 بوصة إلى 2 بوصة.
شكل التوصيل: يتم توصيل خطوط أنابيب الغاز الخاصة عمومًا عن طريق اللحام، بدون أي توصيل ميكانيكي أو أجزاء متحركة أخرى، ويرجع ذلك أساسًا إلى أن اتصال اللحام يتمتع بموثوقية إغلاق قوية.
في مصنع الرقائق، هناك مئات الكيلومترات من الأنابيب المتصلة لنقل الغاز، والتي يبلغ طولها حوالي 20 قدمًا وملحومة معًا. بعض انحناءات الأنابيب ووصلات اللحام الأنبوبية شائعة جدًا أيضًا.
5. صندوق الصمام متعدد الوظائف (صندوق مشعب الصمام، VMB) التعريف:
هو توزيع غازات خاصة من مصدر الغاز إلى أطراف المعدات المختلفة.
حجم خط الأنابيب الداخلي: خط أنابيب معالجة 1/4 بوصة، وخط أنابيب تطهير 1/4 - 3/8 بوصة. قد يستخدم النظام التحكم بالكمبيوتر ليتطلب صمامات مشغلة أو حالات أقل تكلفة باستخدام الصمامات اليدوية.
منتجات النظام: صمامات غشائية/صمامات منفاخ عالية النقاء، وصمامات فحص، ووصلات عالية النقاء (VCR، شكل لحام دقيق)، وصمامات تنظيم الضغط، وأجهزة قياس الضغط، وأجهزة قياس الضغط، وما إلى ذلك. لتوزيع بعض الغازات الخاملة، لوحة الصمامات المتعددة - يتم استخدام VMP (قرص الصمام متعدد الوظائف) بشكل أساسي، والذي يحتوي على سطح قرص غاز مفتوح ولا يتطلب تصميم مساحة مغلقة وتطهير إضافي للنيتروجين.
6. لوحة / صندوق الصمام الثانوي (لوحة توصيل الأدوات) التعريف:
قم بتوصيل الغاز الذي تتطلبه معدات أشباه الموصلات من مصدر الغاز إلى نهاية المعدات وتوفير تنظيم الضغط المقابل. هذه اللوحة عبارة عن نظام للتحكم في الغاز وهو أقرب إلى نهاية المعدات من VMB (صندوق الصمام متعدد الوظائف).
حجم خط الغاز: 1/4 - 3/8 بوصة
حجم خط أنابيب السائل: 1/2 - 1 بوصة
حجم خط التفريغ: 1/2 - 1 بوصة
المنتجات الرئيسية: صمام الحجاب الحاجز/صمام منفاخ، صمام أحادي الاتجاه، صمام تنظيم الضغط، مقياس الضغط، مقياس الضغط، وصلة عالية النقاء (VCR، لحام صغير)، وصلة حلقية، صمام كروي، خرطوم، إلخ.
وقت النشر: 22 نوفمبر 2024