1. تعريف نظام الغاز بالجملة:
تخزين ومراقبة ضغط الغازات الخاملة أنواع الغازات: الغازات الخاملة النموذجية (النيتروجين، الأرجون، الهواء المضغوط، الخ.)
حجم خط الأنابيب: من 1/4 (خط أنابيب المراقبة) إلى خط الأنابيب الرئيسي 12 بوصة
المنتجات الرئيسية للنظام هي: صمام الحجاب الحاجز / صمام المنفاخ / صمام الكرة، موصل عالي النقاء (VCR، شكل اللحام)، موصل فيرول، صمام تنظيم الضغط، مقياس الضغط، إلخ.
يتضمن النظام الجديد حاليًا أيضًا نظامًا خاصًا للغاز بالجملة، والذي يستخدم أسطوانات غاز ثابتة أو شاحنات صهريجية للتخزين والنقل.
2. تعريف نظام التنقية:
إزالة الشوائب من الغازات السائبة لأنابيب الغاز عالية النقاء
3. تعريف خزائن الغاز:
توفير التحكم في الضغط ومراقبة التدفق لمصادر الغاز الخاصة (الغازات السامة والقابلة للاشتعال والتفاعلية والتآكلية)، ولديها القدرة على استبدال أسطوانات الغاز.
الموقع: يقع في الطابق السفلي أو الطابق السفلي لتخزين الغازات الخاصة المصدر: NF3، SF6، WF6، الخ.
حجم خط الأنابيب: خط أنابيب الغاز الداخلي، عمومًا 1/4 بوصة لخط أنابيب العملية، و1/4-3/8 بوصة بشكل أساسي لخط أنابيب تطهير النيتروجين عالي النقاء.
المنتجات الرئيسية: صمامات الحجاب الحاجز عالية النقاء، صمامات الفحص، مقاييس الضغط، مقاييس الضغط، موصلات عالية النقاء (VCR، شكل اللحام) تحتوي خزانات الغاز هذه بشكل أساسي على قدرات تحويل أوتوماتيكية للأسطوانات لضمان إمداد الغاز المستمر والاستبدال الآمن للأسطوانات.
4. تعريف التوزيع:
ربط مصدر الغاز بملف تجميع الغاز
حجم الخط: في مصنع الرقائق، يتراوح حجم خط أنابيب توزيع الغاز بالجملة بشكل عام من 1/2 بوصة إلى 2 بوصة.
شكل الاتصال: يتم توصيل خطوط الأنابيب الخاصة للغاز بشكل عام عن طريق اللحام، دون أي اتصال ميكانيكي أو أجزاء متحركة أخرى، ويرجع ذلك أساسًا إلى أن اتصال اللحام يتمتع بموثوقية إغلاق قوية.
في مصانع الرقائق، توجد مئات الكيلومترات من الأنابيب المتصلة لنقل الغاز، ويبلغ طولها حوالي 20 قدمًا، وهي ملحومة معًا. كما أن بعض انحناءات الأنابيب ووصلات اللحام الأنبوبية شائعة جدًا.
5. صندوق صمام متعدد الوظائف (صندوق مشعب الصمام، VMB) التعريف:
هو توزيع الغازات الخاصة من مصدر الغاز إلى أطراف المعدات المختلفة.
حجم خط الأنابيب الداخلي: خط أنابيب معالجة بقطر 1/4 بوصة، وخط أنابيب تطهير بقطر 1/4 - 3/8 بوصة. يمكن للنظام استخدام التحكم الحاسوبي لطلب صمامات مُفعّلة، أو في الحالات الأقل تكلفةً باستخدام صمامات يدوية.
منتجات النظام: صمامات الحجاب الحاجز عالية النقاء / صمامات المنفاخ، صمامات الفحص، الوصلات عالية النقاء (VCR، شكل اللحام الدقيق)، صمامات تنظيم الضغط، مقاييس الضغط ومقاييس الضغط، إلخ. لتوزيع بعض الغازات الخاملة، يتم استخدام لوحة مشعب الصمام - VMP (قرص الصمام متعدد الوظائف) بشكل أساسي، والتي تتميز بسطح قرص غاز مفتوح ولا تتطلب تصميم مساحة مغلقة وتطهيرًا إضافيًا للنيتروجين.
6. لوحة/صندوق الصمام الثانوي (لوحة توصيل الأدوات) التعريف:
وصّل الغاز اللازم لمعدات أشباه الموصلات من مصدر الغاز إلى طرف المعدات، ووفّر تنظيمًا مناسبًا للضغط. هذه اللوحة هي نظام تحكم في الغاز أقرب إلى طرف المعدات من صندوق الصمامات متعدد الوظائف (VMB).
حجم خط أنابيب الغاز: 1/4 - 3/8 بوصة
حجم خط الأنابيب السائل: 1/2 - 1 بوصة
حجم خط أنابيب التفريغ: 1/2 - 1 بوصة
المنتجات الرئيسية: صمام الحجاب الحاجز / صمام المنفاخ، صمام أحادي الاتجاه، صمام تنظيم الضغط، مقياس الضغط، مقياس الضغط، المفصل عالي النقاء (VCR، اللحام الدقيق)، المفصل الدائري، صمام الكرة، الخرطوم، إلخ.
وقت النشر: ٢٢ نوفمبر ٢٠٢٤