1. تعريف نظام الغاز بالجملة:
تخزين الغازات الخاملة والتحكم في ضغطها. أنواع الغازات: الغازات الخاملة النموذجية (النيتروجين، الأرجون، الهواء المضغوط، إلخ).
حجم خط الأنابيب: من 1/4 بوصة (خط أنابيب المراقبة) إلى خط الأنابيب الرئيسي 12 بوصة
المنتجات الرئيسية للنظام هي: صمام غشائي / صمام منفاخ / صمام كروي، موصل عالي النقاء (VCR، شكل اللحام)، موصل حلقة، صمام تنظيم الضغط، مقياس الضغط، إلخ.
يتضمن النظام الجديد حاليًا أيضًا نظامًا خاصًا للغاز بكميات كبيرة، والذي يستخدم أسطوانات غاز ثابتة أو شاحنات صهريجية للتخزين والنقل.
2. تعريف نظام التنقية:
إزالة الشوائب من الغازات السائبة لخطوط أنابيب الغاز عالية النقاء
3. تعريف خزائن الغاز:
توفير التحكم في الضغط ومراقبة التدفق لمصادر الغاز الخاصة (الغازات السامة والقابلة للاشتعال والتفاعلية والتآكلية)، والقدرة على استبدال أسطوانات الغاز.
الموقع: يقع في الطابق السفلي أو الطابق السفلي لتخزين الغازات الخاصة. المصدر: NF3، SF6، WF6، إلخ.
حجم خط الأنابيب: خط أنابيب الغاز الداخلي، بشكل عام 1/4 بوصة لخط أنابيب المعالجة، و1/4-3/8 بوصة بشكل أساسي لخط أنابيب تنقية النيتروجين عالي النقاء.
المنتجات الرئيسية: صمامات غشائية عالية النقاء، صمامات فحص، مقاييس ضغط، مقاييس ضغط، موصلات عالية النقاء (VCR، شكل اللحام) تحتوي خزائن الغاز هذه بشكل أساسي على إمكانيات التبديل التلقائي للأسطوانات لضمان استمرار إمداد الغاز والاستبدال الآمن للأسطوانات.
4. تعريف التوزيع:
توصيل مصدر الغاز بملف تجميع الغاز
حجم الخط: في مصنع الرقائق، يتراوح حجم خط أنابيب توزيع الغاز بالجملة بشكل عام من 1/2 بوصة إلى 2 بوصة.
شكل التوصيل: يتم توصيل خطوط أنابيب الغاز الخاصة بشكل عام عن طريق اللحام، دون أي توصيل ميكانيكي أو أجزاء متحركة أخرى، ويرجع ذلك أساسًا إلى أن وصلة اللحام تتمتع بموثوقية إحكام قوية.
في مصانع الرقائق الإلكترونية، توجد مئات الكيلومترات من الأنابيب المتصلة لنقل الغاز، ويبلغ طولها حوالي 20 قدمًا، وهي ملحومة ببعضها. كما أن بعض انحناءات الأنابيب ووصلات اللحام الأنبوبية شائعة جدًا.
5. تعريف صندوق الصمامات متعدد الوظائف (صندوق مشعب الصمامات، VMB):
تتمثل وظيفتها في توزيع الغازات الخاصة من مصدر الغاز إلى أطراف المعدات المختلفة.
قطر الأنابيب الداخلية: أنبوب معالجة بقطر 1/4 بوصة، وأنبوب تنظيف بقطر يتراوح بين 1/4 و 3/8 بوصة. قد يستخدم النظام تحكمًا حاسوبيًا لتشغيل الصمامات، أو صمامات يدوية في حالات أقل تكلفة.
منتجات النظام: صمامات غشائية عالية النقاء/صمامات منفاخ، صمامات فحص، وصلات عالية النقاء (VCR، شكل اللحام الدقيق)، صمامات تنظيم الضغط، مقاييس الضغط، إلخ. لتوزيع بعض الغازات الخاملة، يتم استخدام لوحة مشعب الصمامات - VMP (قرص الصمام متعدد الوظائف) بشكل أساسي، والتي تحتوي على سطح قرص غاز مفتوح ولا تتطلب تصميم مساحة مغلقة أو تنقية إضافية بالنيتروجين.
6. تعريف لوحة/صندوق الصمام الثانوي (لوحة توصيل الأدوات):
قم بتوصيل الغاز اللازم لتشغيل معدات أشباه الموصلات من مصدر الغاز إلى طرف المعدات، وقم بضبط الضغط وفقًا لذلك. هذه اللوحة هي نظام تحكم بالغاز أقرب إلى طرف المعدات من صندوق الصمامات متعدد الوظائف (VMB).
حجم خط أنابيب الغاز: من 1/4 إلى 3/8 بوصة
حجم خط أنابيب السوائل: من 1/2 إلى 1 بوصة
حجم أنبوب التصريف: من 1/2 إلى 1 بوصة
المنتجات الرئيسية: صمام غشائي/صمام منفاخ، صمام أحادي الاتجاه، صمام تنظيم الضغط، مقياس الضغط، مقياس الضغط، وصلة عالية النقاء (VCR، لحام دقيق)، وصلة حلقة، صمام كروي، خرطوم، إلخ.
تاريخ النشر: 22 نوفمبر 2024